Delsystemet komponenter opstaldet i stativet og paafyldningsanordningen at generere og overvåge elektronstråle. Komponenter i bevoksningen omfatter RF kilden og strømforsyninger og afsnittene klystron; komponenter i paafyldningsanordningen omfatter elektron kanonen, lineær accelerator (Linac), Bøj magnet, positionering komponenter (karrusel drev, energi switch drev og destinationsdrevet), mål, ion omskiftere og forskellige sensorer.