Υποσύστημα στοιχεία στεγάζεται σε το πόδι και η νεωδόχος που παράγουν και να παρακολουθεί τη δέσμη ηλεκτρονίων. Τα στοιχεία του το πόδι περιλαμβάνουν την πηγή RF και τροφοδοτικά και τα τμήματα του klystron, και συστατικά σε η νεωδόχος περιλαμβάνουν το όπλο ηλεκτρονίων, γραμμικής επιτάχυνσης (Linac), κάμπτει μαγνήτη, τοποθέτηση στοιχείων (μύλου μονάδες, ενέργεια διακόπτη μονάδα και μονάδα προορισμού), στόχος, ιόντων συσκευές εναλλαγής μέσων αποθήκευσης και διάφορες αισθητήρες.