Subsistem komponen bertempat di berdiri dan kendaraan yang menghasilkan dan memantau berkas elektron. Komponen di berdiri termasuk sumber RF dan pasokan listrik, dan bagian klystron; komponen dalam kendaraan termasuk senapan elektron, pemercepat linear (Linac), membungkuk magnet, posisi komponen (korsel drive, drive beralih energi, dan target drive), target, Penukar ion, dan berbagai sensor.