Аналитический метод, использующий узкими электронно-лучевые, обычно с диаметром менее 1 миллиметра, сосредоточены на твердый образец для возбуждения рентгеновского спектра, которая обеспечивает качественную и количественную информацию, характерных элементов в образце. Сокращенное EPXMA.