Мікроскоп, який балки електронів, замість світлових потоків на і через об'єкт інтересу. Цей тип мікроскоп забезпечує найбільшу дозвіл надзвичайно дрібні деталі в групі нанометр. Збільшення може бути до 300 x, 000.