Thành hệ thống phụ phần nằm trong đứng và gantry mà tạo ra và theo dõi chùm điện tử. Các thành phần trong đứng bao gồm RF nguồn và nguồn cấp điện, và các đoạn klystron; các thành phần trong gantry gồm electron gun, linear accelerator (Linac), nam châm uốn cong, định vị các thành phần (carousel ổ cứng, ổ đĩa chuyển đổi năng lượng và ổ đĩa đích), mục tiêu, thay đổi ion và cảm biến khác nhau.